@misc{SchweicherMeyerNowka2023,
  author    = {Benedikt Schweicher and Jan Christoph Meyer and Hans-Detlef Nowka},
  title     = {Carl Zeiss SMT AG: Reduzierung der Durchlaufzeit},
  booktitle = {UdZ - Unternehmen der Zukunft},
  volume    = {8},
  number    = {1},
  institution = {FIR e. V. an der RWTH Aachen},
  type      = {contributiontoperiodical},
  pages     = {27 -- 29},
  year        = {2023},
}